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蝕刻機(jī)和光刻技術(shù)之間的差別

作者: 點(diǎn)擊:989 發(fā)布時(shí)間:2022-09-19

乍一看光刻技術(shù)和蝕刻機(jī)很接近,可是光刻技術(shù)和蝕刻機(jī)卻不混為一談,由于刻蝕僅僅制造芯片其中之一的步驟而已。而刻蝕機(jī)只不過(guò)是眾多芯片制造設(shè)備其中之一。下邊在這里給大家聊一下蝕刻機(jī)。
蝕刻機(jī)和光刻技術(shù)其實(shí)也就是截然不同的二種機(jī)器設(shè)備,不論從作用或是在結(jié)構(gòu)上而言都是天壤之別,光刻技術(shù)是芯片制造過(guò)程里為中心的機(jī)器設(shè)備,芯片制造是通過(guò)光刻技術(shù)所決定的,而非蝕刻機(jī)。
從原理來(lái)看光刻技術(shù)和蝕刻機(jī)。
如果將制造芯片比作建房子,那樣光刻技術(shù)的作用是把房子的結(jié)構(gòu)標(biāo)明在地板上。蝕刻機(jī)便是在光刻技術(shù)進(jìn)行之后才登場(chǎng)的機(jī)器設(shè)備,都是光刻技術(shù)進(jìn)行之后尤為重要的機(jī)器設(shè)備之一。蝕刻機(jī)主要的的作用是依照光刻技術(shù)早已標(biāo)明好的線去做基礎(chǔ)建設(shè),把沒(méi)有用的地區(qū)給清理掉,只留光刻技術(shù)環(huán)節(jié)中標(biāo)明好一點(diǎn)的路線。
從在結(jié)構(gòu)上看來(lái)光刻技術(shù)和蝕刻機(jī)。
光刻技術(shù)的重要的關(guān)鍵技術(shù)便是燈源和激光光路,其燈源和激光光路的重要構(gòu)成部分有四個(gè),燈源、曝出、檢驗(yàn)、和其它高精密機(jī)械制造構(gòu)成。對(duì)比下,蝕刻機(jī)的構(gòu)造構(gòu)成就需要簡(jiǎn)單一些,通常是等離子頻射源、反映室和真氣體路等構(gòu)成。

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